日本CANON-ANELVA佳能UGD-1S传感器的技术参数

BA 轨距 UGD-1S这是一款密封玻璃管式BA电离真空计测量球，用于测量10⁻² Pa以下的压力。UGD

-1S是一款采用科瓦玻璃密封的BA真空计。其栅格由钨制成，并通过电加热进行脱气。因此，即使在脱气过程中也能测量压力。

宽范围 BA 规格 BRG-1B这是一款扩展了高压端测量范围的BA压力表。其脱气方式与UGD-1S类似，采用栅格电加热。为了实现高压测量，使用了镀钍铱过滤器。

与真空设备的连接采用φ15适配器，或通过玻璃密封连接至带有φ70 ICF的玻璃适配器。

裸离子计 NIG-2F/NIG-2TF

该真空计将BA型电极直接安装在法兰上。由于其直接与设备连接，因此适用于超高真空测量，不会因馈通而产生误差。栅极采用铂包钼丝，以程度地减少气体污染造成的误差。NIG
-2F使用钨丝。此外，NIG-2TF使用氧化钇涂层灯丝，从而降低了工作温度，抑制了脱气，并提高了超高真空测量性能。

热电偶压力表 TG-550C该压力表可在大气压下使用，并配有φ15适配器。（移除连接器后高加热温度为150℃）