中央精机CHUO 线性马达 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

简要描述：中央精机CHUO 线性马达 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15
应用
电子、半导体制造装置（EB装置等）
新一代半导体设备的研究开发
其他纳米科技研究

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所属分类：测量仪.检测器

更新时间：2021-06-21

厂商性质：代理商

详情介绍

产地类别	进口

主要特征
材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐热性、低热膨胀系数等特性，能适合在特殊环境下使用保证高精度、可靠性。
Al2O3的复合材料能在真空、非磁性条件下使用
导轨部件使用Si3N4材料制成，具有很好的平滑性能，可以省去使用润滑油，避免了污染真空环境，影响真空度
适用zui高真空度10－5Pa的环境

应用
电子、半导体制造装置（EB装置等）
新一代半导体设备的研究开发
其他纳米科技研究

线性马达规格

参数	AME-15	AME-25	AMH-13	AMH-15	AMH-25
移动量	0～15mm	0～25mm	0～13mm	0～15mm	0～25mm
分辨率	0.0001mm		-
位置精度	0.01mm		-
zui大速度	0.07mm/min		1mm/min
推力	98N（10kgf）		-
工作温度	20±10℃
限位传感器	原点、zui大、zui小		-
线长	2m
重量	0.29Kg	0.3Kg	0.13Kg		0.14Kg

中央精机CHUO 线性马达 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

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