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中央精机CHUO 线性马达 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

中央精机CHUO 线性马达 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

简要描述:中央精机CHUO 线性马达 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15
应用
电子、半导体制造装置(EB装置等)
新一代半导体设备的研究开发
其他纳米科技研究

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所属分类:测量仪.检测器

更新时间:2021-06-21

厂商性质:代理商

详情介绍
产地类别进口

主要特征
材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐热性、低热膨胀系数等特性,能适合在特殊环境下使用保证高精度、可靠性。
Al2O3的复合材料能在真空、非磁性条件下使用
导轨部件使用Si3N4材料制成,具有很好的平滑性能,可以省去使用润滑油,避免了污染真空环境,影响真空度
适用zui高真空度10-5Pa的环境

应用
电子、半导体制造装置(EB装置等)
新一代半导体设备的研究开发
其他纳米科技研究

 
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线性马达规格

参数AME-15AME-25AMH-13AMH-15AMH-25
移动量0~15mm0~25mm0~13mm0~15mm0~25mm
分辨率0.0001mm-
位置精度0.01mm-
zui大速度0.07mm/min1mm/min
推力98N(10kgf)-
工作温度20±10℃
限位传感器原点、zui大、zui小-
线长2m
重量0.29Kg0.3Kg0.13Kg0.14Kg

中央精机CHUO 线性马达 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

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